半導體生產過程(如晶圓清洗、光刻、薄膜沉積)對水質要求極為嚴苛,水中微小的離子、顆粒、微生物或有機物,都可能導致芯片電路缺陷、良率下降。半導體行業(yè)超純水設備通過多段精密凈化工藝,精準匹配行業(yè)需求,優(yōu)勢主要體現(xiàn)在三方面:?

首先是超高凈化能力,滿足極致水質標準。這類設備集成預處理(多介質過濾、活性炭吸附)、深度脫鹽(反滲透、EDI 電去離子)、精密純化(離子交換、超精密過濾)等全流程工藝,可逐層去除水中的懸浮物、鹽分、重金屬離子(如鈉、鐵、銅)、有機物及微生物,將水質指標控制在極低水平 —— 不僅能實現(xiàn)高電阻率,還能過濾掉納米級微小顆粒,確保產出的超純水完全符合半導體生產對 “無雜質干擾” 的要求,避免因水質問題影響芯片性能。?
其次是運行穩(wěn)定可控,保障生產連續(xù)性。半導體制造多為 24 小時連續(xù)作業(yè),超純水供應需持續(xù)穩(wěn)定。設備配備智能監(jiān)測系統(tǒng),可實時追蹤水質參數(shù)(如電阻率、微粒含量)、設備運行狀態(tài)(濾芯壽命、壓力變化),一旦出現(xiàn)參數(shù)波動,能自動調整工藝參數(shù)或觸發(fā)預警,減少水質異常對生產的影響;同時,核心部件選用耐污染、低溶出的專用材質,配合規(guī)范的定期維護,可長期保持穩(wěn)定的凈化效果,避免因設備故障導致生產中斷,支撐半導體生產的高效運轉。?
最后是適配行業(yè)特性,助力精密制造。設備設計充分考慮半導體車間的潔凈環(huán)境要求,接觸水的管路、容器均采用無吸附、無溶出的半導體級材質,防止材質本身對水質造成二次污染;同時,可根據不同生產環(huán)節(jié)(如晶圓清洗、封裝測試)的水質差異,靈活調整凈化流程與參數(shù),適配多樣化工藝需求。此外,部分設備還具備節(jié)能優(yōu)化設計,通過工藝整合、廢水回收等方式降低能耗與水資源消耗,在保障水質的同時,契合半導體行業(yè)綠色生產趨勢,幫助企業(yè)控制運營成本。

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